В 1792 г. французы вступили на территорию Великого Герцогства, которое 1 октября 1795 г. решением Конвента было присоединено к Франции как еще одна административная единица — департамент лесов (Форэ).
После крушения наполеоновской империи решением Венского конгресса в 1815 г. было образовано самостоятельное Великое Герцогство Люксембург, входившее до 1866 г. в состав Германского союза. Король Нидерландов Вильгельм I в качестве «компенсации» за свои, бывшие ораниен-нассауские владения, отошедшие к герцогству Гессен, получил корону великого герцога Люксембурга, который оказался в личной унии с Нидерландами. Связь с Германским союзом выражалась главным образом в том, что город Люксембург был признан его крепостью и занят прусскими войсками. Некоторые области Люксембурга были переданы Пруссии.
В 1830 г. по Европе прокатилась волна революции, которая охватила большинство стран, в том числе Бельгию, где ее целью было отделение от Голландии и создание собственного государства с демократической конституцией. В результате революции была образована независимая Бельгия, к которой по Лондонскому договору 1839 г. отошло почти 2/3 территории Люксембурга, населенной валлонами. От тех владений Люксембурга, которые принадлежали герцогам в средние века, осталась лишь 1/4 (районы Люксембург, Дикирх и Гревенмахер площадью 2587 км2 и с населением 170 тыс. человек). Территория, закрепленная за Люксембургом по Лондонскому договору, который подписали Англия, Франция, Пруссия, Австрия и Россия, с одной стороны, и Бельгия и Голландия — с другой, без больших изменений осталась за Великим Герцогством и до нашего времени.